光学镜头

光刻机是半导体制造过程中的关键设备，其主要功能是将电路图案从掩膜版上转移到晶圆表面的光刻胶层上。在这一过程中，光学镜头作为光刻机的核心组成部分，其性能直接影响到光刻的精度和套刻精度，进而决定了芯片的性能和产量。随着半导体行业对芯片制程要求的不断提升，光学镜头的技术进步显得尤为重要。关键词：光刻机，光学镜头，精准成像，半导体制造，技术迭代，数值孔径，波像差，非球面透镜，光源系统光学镜头在光刻机中的作用与挑战光学镜头是光刻机中用...