光源系统

光刻机作为半导体制造过程中的核心设备，其精度和性能直接影响着芯片的质量和产量。在光刻机的复杂系统中，光源系统扮演着至关重要的角色，它负责提供能量用于将掩模上的电路图案转移到硅片上。随着芯片制程的不断缩小，对光源系统的波长、功率和稳定性提出了更高的要求。目前，全球光刻机市场主要由ASML、Nikon和Canon三家公司垄断，而光源系统的技术进步则是这些公司保持竞争优势的关键。关键词：光刻机，光源系统，发光原理，半导体制造，技术挑战光源...