TCAD

半导体制造类EDA（电子设计自动化）是集成电路制造过程中不可或缺的工具，它们在芯片设计、验证、制造等环节发挥着重要作用。随着半导体技术的不断进步，尤其是制程技术向更小节点的演进，EDA工具的重要性日益凸显。TCAD（技术计算机辅助设计）和OPC（光学邻近校正）作为制造类EDA工具的两大支柱，在全球半导体产业中扮演着越来越关键的角色。关键词：半导体制造、EDA工具、TCAD、OPC、市场规模、技术演进TCAD工具：半导体工艺仿真的核心TCAD工具在半导体制...