
半导体材料作为集成电路产业的基石,正迎来新一轮增长周期。本报告深入分析了AI技术爆发与全球晶圆厂扩建浪潮下,半导体材料市场的复苏态势与结构性机遇,重点剖析了硅片、电子特气、光刻胶等关键材料的国产替代进程与技术突破,为行业参与者提供全面的市场洞察与发展趋势研判。
半导体材料市场概览:晶圆制造主导需求,国产替代空间广阔
半导体材料是制作晶体管、集成电路、电力电子器件的重要基础材料,按照工艺流程可分为晶圆制造材料和封装材料两大类别。根据SEMI最新数据,2023年全球半导体材料市场规模达到667亿美元,其中晶圆制造材料占比61.6%,规模为415亿美元;封装材料占比38.4%,规模为252亿美元。这一市场结构反映了晶圆制造环节对材料的高需求特性,尤其是在先进制程不断推进的背景下。
中国市场表现尤为亮眼。统计显示,中国大陆半导体材料市场规模从2019年的593亿元快速增长至2023年的979亿元,年均复合增长率达13.3%,远高于全球平均水平。预计2024年市场规模将突破千亿大关,达到1011亿元。这种快速增长与中国大陆晶圆厂产能的持续扩张密不可分,目前中国大陆已成为全球晶圆厂建设最活跃的地区。
从材料细分领域看,硅片以20.72%的占比位居半导体制造材料成本首位,其次为封装基板(14.88%)、湿电子化学品(8.79%)、光刻胶及配套材料(8.29%)和掩膜板(8.10%)。这种成本结构凸显了硅片在半导体制造中的核心地位,也反映了多种辅助材料共同支撑芯片制造全过程的特点。
表:2021年半导体材料成本结构分析
材料类别 | 成本占比 | 主要功能 |
---|---|---|
硅片/其他衬底 | 20.72% | 晶圆制造基础材料 |
封装基板 | 14.88% | 芯片保护与物理支撑 |
湿电子化学品 | 8.79% | 清洗、刻蚀等工艺 |
光刻胶及配套 | 8.29% | 图形转移核心材料 |
掩膜板 | 8.10% | 光刻工艺的图形母版 |
区域分布方面,2023年中国台湾地区以192亿美元的销售额继续保持全球最大半导体材料消费地区地位,但同比下降4.7%;中国大陆则以131亿美元的销售额实现0.9%的正增长,展现出较强的市场韧性。值得注意的是,韩国市场受存储芯片行业调整影响,销售额同比下降18%至106亿美元,反映出半导体材料市场与终端应用紧密关联的特性。
AI与晶圆厂扩建双轮驱动,半导体材料需求结构性增长
人工智能技术的爆发性发展正在重塑半导体产业链的需求格局。ChatGPT等大语言模型的商业化应用,推动了对高性能计算芯片的需求激增,这些芯片普遍采用7nm及以下先进制程,对半导体材料的纯度、精度提出了更高要求。据行业调研数据显示,训练一个基础版GPT-4级别的大模型需要超过3000片12英寸晶圆,这种前所未有的需求直接拉动了高端半导体材料的消耗。
晶圆厂扩建浪潮为材料市场注入持续动力。全球范围内,台积电、三星、英特尔等巨头纷纷宣布扩产计划,仅台积电在亚利桑那州的两座晶圆厂总投资就达400亿美元。中国大陆方面,中芯国际、华虹半导体等企业也在积极扩大产能。SEMI预测,2024年全球晶圆厂设备投资将恢复增长,带动材料需求同步上升。特别值得注意的是,这些新建产能中有相当比例针对28nm及以上成熟制程,这将为国产材料提供广阔的验证和导入机会。
库存周期的影响不容忽视。2023年全球半导体行业经历了明显的库存调整,导致材料市场需求短期承压。以硅片为例,2023年全球出货面积下降至126.02亿平方英寸。但随着库存去化接近尾声,叠加AI等新兴需求驱动,行业正步入复苏通道。预计2024年硅片出货面积将回升至130亿平方英寸,同比增长约3.2%。这种复苏不仅体现在量的增长上,更体现在产品结构的优化——12英寸大硅片占比持续提升,300mm硅片的可用面积是200mm硅片的2倍以上,使用率更高达2.5倍。
技术迭代带来材料需求的结构性变化。随着制程节点向3nm及以下推进,EUV光刻技术广泛应用,对光刻胶、电子特气等材料提出了前所未有的纯度和平整度要求。同时,3D NAND存储芯片的堆叠层数不断增加,CMP抛光步骤从2D时代的10余次增加到30次以上,显著提升了抛光材料的需求。这些技术演进不仅扩大了材料市场的规模,更改变了市场竞争的维度,为具备技术突破能力的企业创造了超车机会。
高端材料国产替代加速,技术突破与产能建设同步推进
中国半导体材料产业正经历从"有没有"到"好不好"的关键转型。在多项政策支持和市场需求拉动下,国产材料在多个细分领域取得了显著突破。以硅片为例,沪硅产业已实现300mm半导体硅片的规模化生产和销售,打破了国外厂商的长期垄断。2023年中国半导体硅片市场规模达到123.3亿元,预计2024年将增长至131亿元,其中国产化率已提升至20-30%,在成熟制程领域基本实现了自主供应。
电子特气领域的进展同样令人瞩目。作为晶圆制造中不可或缺的"工业血液",电子特气贯穿氧化、沉积、刻蚀、掺杂等各个环节。尽管全球市场仍被空气化工、林德、液化空气和太阳日酸等国际巨头主导,但国内企业如雅克科技、金宏气体、华特气体等已在部分产品上实现突破。2023年中国电子特气市场规模达249亿元,其中国产化率约为30-40%,预计2025年有望提升至25%。特别是在三氟化氮、六氟化钨等关键气体方面,国产产品已开始进入主流晶圆厂的供应链体系。
表:中国半导体材料国产化率进展(2023年)
材料类别 | 国产化率 | 技术突破重点 |
---|---|---|
硅片 | 20%-30% | 300mm大硅片量产 |
电子特气 | 30%-40% | 高纯度特种气体 |
掩膜板 | 约5% | 高精度图形加工 |
光刻胶 | 0%-10% | KrF/ArF胶突破 |
CMP材料 | 20%-30% | 抛光液配方优化 |
光刻胶作为图形转移的核心材料,其国产化进程备受关注。目前,中国企业在G/I线光刻胶上的国产化率已达30%,但在KrF、ArF等高端光刻胶上仍高度依赖进口,国产化率不足2%,EUV光刻胶尚处研发阶段。值得肯定的是,彤程新材旗下北京科华已实现KrF光刻胶的量产供货,晶瑞电材也在ArF光刻胶研发上取得阶段性成果。随着国内光刻胶企业持续加大研发投入,预计未来3-5年将逐步打破国外企业在高端光刻胶领域的垄断地位。
湿电子化学品方面,中国企业在8英寸及以下晶圆加工用产品上的国产化率已超过80%,但在12英寸先进制程领域仍面临较大挑战。湿电子化学品的纯度要求极高,金属杂质含量需控制在ppb(十亿分之一)级别,这对提纯工艺和设备提出了严苛要求。据统计,12英寸晶圆加工消耗的湿电子化学品达239.82吨/万片,是8英寸的4.6倍,这种倍增效应使得突破12英寸用高端产品更具战略意义。目前,江化微、晶瑞电材等企业正积极布局12英寸用超高纯试剂的研发与产能建设。
掩膜版作为"芯片的模板",其技术难度与战略价值同样突出。半导体掩膜版在最小线宽、CD精度、位置精度等参数上的要求显著高于平板显示等领域。目前全球独立第三方掩膜版市场被美国Photronics、日本Toppan和DNP三家公司控制,合计份额超过80%。国内企业中,清溢光电、路维光电等已具备130nm及以上节点的掩膜版生产能力,正在向更先进节点突破。随着制程工艺成熟化,第三方掩膜版厂商的专业化、规模化优势将更加凸显,为国产替代创造有利条件。
半导体材料行业FAQs:
当前全球半导体材料市场的区域分布格局如何?
2023年全球半导体材料市场呈现明显区域分化特征。中国台湾地区以192亿美元销售额保持全球最大材料消费地区地位,但同比下降4.7%;中国大陆市场逆势增长0.9%至131亿美元,展现出较强韧性;韩国市场受存储芯片行业调整影响显著,销售额同比下降18%至106亿美元。这种区域差异主要反映了各地晶圆制造产能分布及产品结构的差异。
12英寸与8英寸硅片在应用上有何不同?
12英寸硅片(300mm)已成为逻辑芯片和存储芯片的主流选择,主要应用于10nm/7nm/5nm等先进制程,用于制造高性能处理器、存储芯片等;而8英寸硅片(200mm)则广泛应用于功率器件、电源管理器、MEMS等领域,制程节点多在90nm-0.13μm之间。尽管12英寸是行业趋势,但8英寸因其特殊工艺和成本优势,在特定领域仍保持稳定需求。
中国电子特气行业的竞争格局如何?
中国电子特气市场呈现"外资主导、内资追赶"的格局。国际巨头如空气化工、林德等凭借技术积累占据高端市场;国内企业如雅克科技(占比2.3%)、金宏气体(2.1%)、华特气体(1.9%)等通过技术引进与自主创新,已在部分产品上实现突破。2023年行业整体国产化率约30-40%,预计2025年将提升至25%,但在产品多样性、纯度标准等方面与国际领先水平仍有差距。
半导体掩膜版的技术难点主要有哪些?
半导体掩膜版面临三大技术挑战:一是光学邻近效应(OPC),当线宽接近光波长时会出现衍射导致图形失真,需通过复杂算法修正;二是相移技术(PSM),当线宽小于130nm后需通过相位调节消除干涉;三是多层套刻,现代芯片的3D结构要求掩膜版层数增多且套刻精度极高。这些技术难点使得掩膜版成为半导体材料中技术含量最高的品类之一。
湿电子化学品在半导体制造中的主要应用环节是哪些?
湿电子化学品贯穿半导体制造多个关键环节:在清洗环节使用硫酸、氢氟酸等去除杂质;在刻蚀环节使用特定配方的酸液或碱液进行选择性刻蚀;在光刻环节使用显影液实现图形转移;在CMP后清洗中使用特殊配方去除抛光残留物。随着制程进步,对湿电子化学品的纯度要求已提升至ppt(万亿分之一)级别,金属杂质含量需低于0.1ppb。
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